美国卡维修的脖子，等中国光刻机坏掉王新喜

近期美国抛出MATCH法案，计划以国会立法形式，禁止向中国出口14nm及以下所有设备，以前美国主要禁最顶尖的EUV光刻机，现在直接扩大到所有DUV浸没式光刻机，连成熟制程用的关键设备、低温蚀刻机这些也全算进去，要求荷兰等盟友在150天内实施同等禁令，将对华半导体遏制政策制度化、强制化，并通过法律强制捆绑盟友，彻底封堵中国半导体产业发展的所有路径。

其中非常关键的一条就是，不光不卖设备，连售后服务也彻底卡住——安装、维修、软件更新、技术支持，一概禁止。这就是美国的阳谋：一旦没有售后维修，等中国光刻机坏掉，高端芯片就造不出来了。

早在2023年，美国商务部主管工业与安全的副部长艾伦·艾斯特韦斯（Alan Estevez）在东京接受《日经亚洲》采访时表示，美国主导的对中国企业先进芯片制造设备的限制最终将阻止中国发展本土半导体产业的努力。

他指出，ASML的光刻机，以及三家主要美国芯片设备公司的蚀刻机、测量仪器等关键器材已经不卖中国新的制造设备和检测仪器了，对中国断供了服务。

2023年10月17日又升级规则，扩大到人工智能芯片和更多工具，把ASML的NXT:1970Ci这种型号直接禁了。

美国官员相信，中国7nm芯片现在主要是用以前买的设备做出来的，为了卡中国芯片脖子，连光刻机维修也盘算上了。

2024年3月，艾伦·埃斯特维兹接受采访时再次强调，限制范围不仅覆盖设备本身，也包括零部件维修；机器迟早会损耗，一旦维修受限，产业节奏就会被拖住。

要知道，禁令前，中国公司就在大量采购，当年从ASML进口总额超64亿欧元，上百台设备堆进仓库，扩建生产线。

2024年，美国继续加码，荷兰审批多了起来，ASML对华出口慢下来。NXT:1980Di这款之前还能卖的浸没式机器，因为1.6纳米的参数，也在美国的压力下堵住了路。

管制时间线上，美国从2022年初规则，到2023年扩范围，2024年盯维修，形成步步紧逼。

但中企其实在2023年底就囤够了，根据2023年的数据，当时中国有1400台光刻机，2024年上半年进口额还几百亿欧元，第三季度从ASML拿了34亿欧元的货，确保产能短期没问题。

荷兰政府在2025年1月专门把大部分ASML对华销售从“双重用途”出口数据里剔除了，中国买走的光刻机金额高达80.1亿欧元，合计占到所有光刻机销售的33%。

根据荷兰媒体此前爆料，中国现在囤的DUV光刻机，用5~10年都没有问题。所以美国的算盘是等存量光刻机坏掉，又买不到新的，这样中国高端芯片就造不出来了。

中国一旦光刻机坏掉，维修有多难？

中国一旦光刻机坏掉，我们到底能不能修？

我们知道，一台高端的浸没式深紫外（DUV）光刻机，价值上亿美元，内部包含数万个精密零件，涉及光学、流体力学、高分子化学、精密机械等几十个全球顶尖学科。

它的娇贵程度堪比一台需要顶级技师二十四小时贴身伺候的F1赛车。看看这张外国工程师维修光刻机的图，光设备与线路的复杂程度，即便一件件组装起来，难度都不小，更何况还要设备串联一体，赋予智能操作。

ASML在中国装的机器很多，2023年服务收入就占公司全球两成。中国芯片厂靠这些跑生产线。光刻机内部的光源系统，要在极端的物理条件下高频激发，激光源本身就存在不可逆的物理损耗。

那套由德国蔡司提供的精密光学镜头，需要定期进行极其繁琐的校准，稍有温差或震动引起的形变，都会导致晶圆上的纳米级线路报废；内部的运动控制单元和成百上千个高精度传感器，常年处于高负荷运行状态。

这些关键零件如镜头或激光源坏了，要想换个零件、升个级，甚至让工程师上门检修，没许可，ASML就不能派人或发原厂件。埃斯特维兹后来也强调，焦点是防技术扩散，包括那些服务协议。这明摆着知道中国囤了不少，要通过维修墙慢慢耗死产能。

2024年底到2025年初，国内部分晶圆厂确实接到了通知：相关设备的零件无法按原渠道进入。2025年4月，ASML确认服务合同受限，有些中国厂维修申请拖着。有行业内人士曾透露，当时某些大厂的光刻机光源系统因为缺乏备件而被迫暂停服务，直接导致整条生产线的效率出现了约15%的下滑。

美国卡维修的脖子，中国本土化破局

然而，中国没有被维修卡脖子困住，而是通过本土维修破局，美国后来评管制成果，报告中国先进芯片进口少，但本土产能慢慢起来了。中国企业优化多重曝光，提高了浸没机效率。

而且中国这边也开始搞本土维修，生产光学元件这些易损件，少靠ASML。许多晶圆厂开始研究延长设备寿命的方案，工程团队尝试升级子系统组件，例如控制模块和传感装置。一些零部件通过拆机渠道获得，也有第三方维修团队参与，这个新生态正在形成。