国产200kV透射电镜发布

10月18日，国仪量子技术（合肥）股份有限公司（以下简称国仪量子）自主研发的200kV（千伏）场发射透射电镜TEM-F200在2026年全国电子显微学学术年会上发布。据介绍，该产品信息分辨率达到0.1纳米，点分辨率达到0.25纳米，多项关键性能指标达到国际一流水平，并已具备量产交付能力。这标志着国产高端透射电镜从研制突破加快迈向产品化交付阶段。

国仪量子研发人员在调试200kV场发射透射电镜TEM-F200。国仪量子供图 透射电镜是半导体、先进材料、新能源和生命科学等领域的关键分析工具，其利用高能电子束穿透样品，通过采集透射、散射和衍射电子进行成像，在原子尺度表征晶体结构、界面和缺陷。 长期以来，全球透射电镜市场由少数国际厂商占据，国内用户在设备采购、关键部件供应、维修维护、软件适配和应用服务等方面存在严重的外部依赖。高端透射电镜实现国产化，有助于提升科学仪器供应链的自主可控水平。 200kV级场发射透射电镜对电子枪、高压电源、电子光学、探测器和整机控制等多个系统的协同稳定性要求极高，长期是国际厂商的技术制高点。国仪量子团队通过自主研发，完成了从核心模组、控制分析软件、系统集成到整体优化的全流程。目前，产品信息分辨率优于0.1纳米，点分辨率达到0.25纳米，多项关键核心指标达到国际一流水平。 国仪量子董事长贺羽介绍：“200 kV 透射电镜具有更高的加速电压，电子束动能更高、波长更短，相对低电压平台对一定厚度范围内的高密度样品穿透能力更强。它的研发难点，不是简单提高加速电压，而是要实现高压电源、电子枪、电子光学、探测器、软件和整机控制等多个系统的稳定协同。目前，TEM-F200已具备量产交付能力。” 中国仪器仪表学会分析仪器分会总干事吴爱华表示：“200kV透射电镜可应用于材料研发、芯片微观结构与失效分析、生物医学和产品质量控制等科研与产业领域，将进一步丰富国内高端科学仪器供给，提升分析测试技术的自主保障能力。”